[发明专利]可检测气体泄漏的密闭腔体有效

专利信息
申请号: 201810611239.0 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN108899289B 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 王立聪;颜廷彪;叶日铨;黄志凯 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01J37/32
代理公司: 北京市一法律师事务所 11654 代理人: 刘荣娟
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明技术方案公开了一种可检测气体泄漏的密闭腔体,包括:上腔体,在上表面设有进气口和排气口;下腔体,所述下腔体的上表面与所述上腔体下表面贴合设置,形成一个密闭空间;密封圈,设置于所述上腔体与所述下腔体之间;第一沟槽,呈环形,位于所述上腔体下表面边缘,且位于所述密封圈的外侧;第二沟槽,呈环形,位于所述下腔体上表面边缘,且位于所述密封圈的外侧,所述第一沟槽和所述第二沟槽相对设置构成一个环形的闭合隔离结构。采用上述的密闭腔体,通过在密封圈外侧设置闭合隔离结构,形成净化气体屏障,可以及时检测出工艺气体的泄漏。
搜索关键词: 检测 气体 泄漏 密闭
【主权项】:
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