[发明专利]一种采用金刚线的硅片切割液循环系统及方法在审
| 申请号： | 201810603654.1 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108793554A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 刘坤;韩志纯;张良恒;任文星;吴勇;侯永标 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/10 | 分类号： | C02F9/10;C02F103/34 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 吴绍群 |
| 地址： | 257300 山东省东营市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用金刚线的硅片切割液循环系统，包括：收集单元，热交换单元，压滤分离单元，清液回用单元。能够分离使用过的切割液中的硅粉颗粒后循环利用，重新作为切割液使用，避免将携带有机物的进入废水处理，减少废水的处理成本，降低环保压力。同时提供对应上述系统的采用金刚线的硅片切割液循环方法。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片切割液 金刚线 循环系统 切割液 热交换单元 废水处理 硅粉颗粒 环保压力 清液回用 收集单元 循环利用 压滤分离 有机物 废水 携带 | ||
【主权项】：
1.一种采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，包括：收集单元，具有容置已使用切割液的收集室；热交换单元，包括：盛放热交换介质的热交换室；由交换介质完全浸没的换热管，所述换热管的入口端流体连通所述收集室；盛放于热交换室的热交换介质；压滤分离单元，具有液体入口，压滤清液出口及污泥排放口；所述液体入口与换热管的出口端流体连通；清液回用单元，具有容置压滤清液的回收室，所述回收室与所述压滤清夜出口流体连通，所述回收室流体连通用以向硅片切割设备供应切割液的供应单元。
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