[发明专利]一种采用金刚线的硅片切割液循环系统及方法

权利要求书

1.一种采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，包括：

收集单元，具有容置已使用切割液的收集室；

热交换单元，包括：盛放热交换介质的热交换室；由交换介质完全浸没的换热管，所述换热管的入口端流体连通所述收集室；盛放于热交换室的热交换介质；

压滤分离单元，具有液体入口，压滤清液出口及污泥排放口；所述液体入口与换热管的出口端流体连通；

清液回用单元，具有容置压滤清液的回收室，所述回收室与所述压滤清夜出口流体连通，所述回收室流体连通用以向硅片切割设备供应切割液的供应单元。

2.如权利要求1所述的采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，所述换热管为盘管或列管。

3.如权利要求1所述的采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，所述压滤分离单元为板框式压滤机或带式压滤机。

4.如权利要求1所述的采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，还包括增压单元，所述增压单元设置于流体连通压滤分离单元的液体入口与换热管的出口的管路上。

5.如权利要求1所述的采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，所述收集单元，包括：

所述第一收集室；

顶流与所述第一收集室的底流流体连通的第二收集室；

与所述第二收集室的流体连通的排放管道。

6.如权利要求5所述的采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，所述第一收集室的底流与所述第二收集室的顶流通过连通通道流体连通，并且流体通过溢流方式从连通通道流入第二收集室；所述连通通道的截面面积沿流体流向逐渐增大。

7.如权利要求5所述的采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，所述第二收集室的底流与排放管道流体连通；所述第二收集室内设置有将第二收集室分隔为第一腔室及第二腔室的过滤单元，所述过滤单元具有过滤孔，流体连通排放管道的第一收集室的底流设置于所述第一腔体；所述第二收集室的侧壁开设有开口，所述过滤单元的下端由设置于所述第二收集室的底壁的凸起止动过滤单元的下端远离开口的运动趋势，所述过滤单元的上端搭置或连接于开口的下沿。

8.如权利要求7所述的采用金刚线的硅片切割液循环系统，其特征在于，所述开口处设置有封口组件，所述封口组件可打开或封闭，打开时，所述开口与外界连通，且过滤单元可通过开口从第二收集室内取出；封闭时，封口组件构成第二收集室的外壁的一部分，隔绝所述开口与外界的连通。

9.一种采用金刚线的硅片切割液循环方法，包括以下步骤：

收集已使用切割液；

对已使用切割液进行热交换使其温度降低至设定阈值；

对降温后的切割进行压滤分离，回收分离得到的压滤清液循回用作为新的切割液。

10.如权利要求9所述的采用金刚线的硅片切割液循环方法，其特征在于，所述对已使用切割液进行热交换包括：

由通过将切割液与硅片切割后进行脱胶处理的脱胶液或制备脱胶液的溶剂进行热交换。