[发明专利]一种脱胶机药液的预热装置及方法在审
| 申请号： | 201810601738.1 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108838156A | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 樊明仲;张孟军 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 257300 山东省东营市广*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种脱胶机药液的预热装置，包括水槽本体、供水系统、温控系统和水位感应系统,水位感应系统通过感应水位向脱胶机发送反馈信息,供水系统接收脱胶机的指令向水槽本体和/或脱胶机药液槽供水,温控系统受脱胶机控制加热，到达设定温度时停止加热。本申请还提供了一种使用脱胶机药液的预热装置进行预热的方法。本发明解决了给脱胶机更换药液时，药液加热时不能使用，单位时间内脱胶完成的硅片量少的技术问题。其有益之处在于，对药液中占比最大的水进行预热，减少了更换药液的等待时间，提高了单位时间内脱胶完成的硅片量；利用脱胶机的指令完成自动配酸或进水；根据不同的硅片产品需求设定最佳酸洗温度。 | ||
| 搜索关键词： | 脱胶机 预热装置 硅片 水位感应系统 供水系统 水槽本体 温控系统 脱胶 产品需求 反馈信息 感应水位 停止加热 药液加热 指令完成 药液槽 预热的 预热 进水 配酸 酸洗 加热 申请 发送 指令 供水 | ||
【主权项】：
1.一种脱胶机药液的预热装置，包括水槽本体、供水系统、温控系统和水位感应系统，其特征在于，所述水位感应系统通过感应水位向脱胶机发送反馈信息，脱胶机接收所述反馈信息发出指令，所述供水系统接收脱胶机的指令向水槽本体和/或脱胶机药液槽供水，所述温控系统包括加热管和可预设温度的控温器，所述加热管接收脱胶机指令开启加热，水温到达设定温度时所述控温器控制所述加热管停止加热。
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