[发明专利]基于六角ErMnO3有效

专利信息
申请号: 201810575100.5 申请日: 2018-06-06
公开(公告)号: CN108962897B 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 曾敏;陈义;李烨;陆旭兵;高兴森;刘俊明 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: H01L27/11502 分类号: H01L27/11502;H01L27/11507
代理公司: 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 代理人: 潘雯瑛
地址: 510006 广东省广州市番禺区外*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种基于六角ErMnO3外延薄膜的铁电存储器件及其制备方法。所述制备方法包括:采用激光脉冲沉积法,先在Al2O3单晶衬底上沉积底电极Pt外延薄膜,再在所述底电极Pt外延薄膜上沉积六角ErMnO3外延薄膜,并对沉积的六角ErMnO3外延薄膜进行退火处理。通过本发明制得的铁电存储器件具有较好的铁电性,存储信息稳定,保持性能好,读写方便。
搜索关键词: 基于 六角 ermno base sub
【主权项】:
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