[发明专利]一种空心纳米球阵列传感器的制备方法有效
| 申请号： | 201810573330.8 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN109060897B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 邵绍峰;车雷声;黄申备;陈鑫 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210019 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
一种空心纳米球阵列传感器的制备方法，包括如下步骤：(a)衬底基材预处理；(b)光刻蚀法对预处理的硅衬底进行加工；(c)正丙醇中清洗、通氮气干燥；(d)选取Ti作为附着层，Au作为检测电极，采用辉光真空镀膜方法对干燥后的样品进行检测电极沉积；(e)通过剥离技术去除步样品表面残余的光刻胶；(f)制备溶胶溶液，对干燥后的样品衬底进行旋涂制膜；(g)对样品先进行后置热蒸水热处理，然后通氮气保护进行焙烧，制备传感材料与器件一体的气体传感器。本发明把握有害气体分子(SO |
||
| 搜索关键词： | 一种 空心 纳米 阵列 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空心纳米球阵列传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(a) 衬底基材预处理：将硅衬底放入丙酮和异丙醇中进行超声清洗，然后用氮气吹扫表面，并对其进行热处理，清洗时间5‑10min；(b) 通过光刻蚀法对步骤(a)中预处理的硅衬底进行加工，制备样品衬底；(c) 将步骤(b)制成的样品放入正丙醇中清洗、通氮气干燥；(d) 选取Ti作为附着层，Au作为检测电极，采用辉光真空镀膜方法对步骤(c)干燥后的样品进行检测电极沉积，制备多层Ti/Au检测电极结构；(e) 通过剥离技术去除步骤(d)样品表面残余的光刻胶，然后用丙酮和异丙醇清洗、通氮气干燥；(f) 制备溶胶溶液，对步骤(e)中干燥后的样品衬底进行旋涂制膜，控制转速为3000‑5000rpm；(g) 对步骤(f)中制得的样品先进行后置热蒸水热处理，然后通氮气保护进行焙烧，制备传感材料与器件一体的气体传感器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京信息工程大学，未经南京信息工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810573330.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：通过相对介电常数检测用于电力箱进水监测保护装置
- 下一篇：基于CeO
