[发明专利]源收集器设备、光刻设备和方法有效
| 申请号： | 201810572686.X | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN108617070B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | N·克里曼斯;D·格卢什科夫;R·豪特曼;B·伦肯斯;G·斯温克尔斯;C·沃斯比克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种源收集器设备，所述源收集器设备包括：燃料液滴生成器，配置成生成从所述燃料液滴生成器的出口朝向等离子体形成部位引导的燃料液滴流；护罩，构造和布置用于保护所述燃料液滴流；和检测设备，构造和布置用于在燃料液滴流沿着所述护罩通过时检测燃料液滴在燃料液滴流中的融合。另外，本发明还提供了一种用于检测在源收集器设备的燃料液滴流中的伴生液滴的形成的方法和光刻设备。 | ||
| 搜索关键词： | 收集 设备 光刻 方法 | ||
【主权项】：
1.一种源收集器设备，包括：燃料液滴生成器，配置成生成从所述燃料液滴生成器的出口朝向等离子体形成部位引导的燃料液滴流；护罩，构造和布置用于保护所述燃料液滴流；和检测设备，构造和布置用于在燃料液滴流沿着所述护罩通过时检测燃料液滴在燃料液滴流中的融合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810572686.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电极嵌入式等离子体活化水制备装置
- 下一篇：一种等离子发生器
