[发明专利]源收集器设备、光刻设备和方法有效
| 申请号： | 201810572686.X | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN108617070B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | N·克里曼斯;D·格卢什科夫;R·豪特曼;B·伦肯斯;G·斯温克尔斯;C·沃斯比克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 收集 设备 光刻 方法 | ||
1.一种源收集器设备，包括：
燃料液滴生成器，配置成生成从所述燃料液滴生成器的出口朝向等离子体形成部位引导的燃料液滴流；
护罩，构造和布置用于保护所述燃料液滴流；和
检测设备，构造和布置用于在燃料液滴流沿着所述护罩通过时检测燃料液滴在燃料液滴流中的融合，
其中所述检测设备是光学检测设备或电磁检测设备。
2.根据权利要求1所述的源收集器设备，其中所述检测设备容纳在所述护罩中。
3.根据权利要求1所述的源收集器设备，其中所述检测设备包括布置在燃料流的第一侧上的多个光源和布置在燃料流的相反的第二侧上的多个对应的检测器。
4.根据权利要求3所述的源收集器设备，其中所述检测设备包括布置在燃料流周围的第一电磁传感器和第二电磁传感器。
5.一种用于检测在源收集器设备的燃料液滴流中的伴生液滴的形成的方法，其中所述燃料液滴流由燃料液滴生成器生成，且其中所述燃料液滴流由护罩保护，
所述方法包括提供用于检测在所述护罩中燃料液滴的融合出现所在的位置的检测设备，
其中所述检测设备是光学检测设备或电磁检测设备。
6.一种光刻设备，包括源收集器设备，所述源收集器设备包括：
燃料液滴生成器，配置成生成从所述燃料液滴生成器的出口朝向等离子体形成部位引导的燃料液滴流；
护罩，构造和布置用于保护所述燃料液滴流；和
检测设备，构造和布置用于在燃料液滴流沿着所述护罩通过时检测燃料液滴在燃料液滴流中的融合，
其中所述检测设备是光学检测设备或电磁检测设备。
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