[发明专利]具有小的机械张力的多晶材料和用于产生多晶材料的方法在审
| 申请号： | 201810551540.7 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108975262A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | A·哈特利布;H·施塔尔;J·拜恩特纳;J·巴茨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;H01L29/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出一种具有小的机械张力的多晶材料(5)，其中，多晶材料(5)包括第一类型(1)的一个或多个层和第二类型(2)的一个或多个层，其中，第一类型(1)的层和第二类型(2)的层分别具有至少一种多晶材料组分，其特征在于，第一类型(1)的层相比于第二类型(2)的层具有较小的平均晶粒尺寸，其中，第一类型(1)的层和第二类型(2)的层以交替的顺序至少部分相叠地布置，其中，在第一类型(1)的层和第二类型(2)的层之间的过渡可以是突然的或者连续的。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶材料 平均晶粒 交替的 | ||
【主权项】：
1.具有小的机械张力的多晶材料(5)，其中，所述多晶材料(5)包括第一类型(1)的一个或多个层和第二类型(2)的一个或多个层，其中，所述第一类型(1)的层和所述第二类型(2)的层分别具有至少一种多晶材料组分，其特征在于，所述第一类型(1)的层相比于所述第二类型(2)的层具有较小的平均晶粒尺寸，其中，所述第一类型(1)的层和所述第二类型(2)的层以交替的顺序至少部分相叠地布置。
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