[发明专利]一种精确测量自支撑铍薄膜密度的方法

摘要

本发明公开了一种精确测量自支撑铍薄膜密度的方法，所述的方法采用高精度磁悬浮天平分两次测量后计算得出铍薄膜密度，首先将称量桶单独在不同气压的He气介质中进行测量，后将自支撑铍薄膜置于称量桶中同样在不同气压的He气介质中进行共同测量，将两次测量的数据进行线性拟合并计算得到自支撑铍薄膜的质量及体积，从而计算出密度；本发明采用高精度的磁悬浮天平为称量装置，同时利用He气作为称量介质，将两次称量后的数据进行数值拟合后计算得到自支撑铍薄膜的质量及体积，从而计算出密度，具有测量误差小、样品无破裂风险等优点。

主权项

1.一种精确测量自支撑铍薄膜密度的方法，其特征在于，依次包括以下步骤： (a) 将磁悬浮天平测量室内充入高纯He气，记录在不同气压变化时磁悬浮天平的称量桶的重量值；(b) 将步骤（a）所得重量值与不同气压下He气密度值进行线性数据拟合，得出称量桶的质量及体积；(c) 将自支撑铍薄膜置于称量桶内，在测量室内充入高纯He气，记录在不同气压变化时的称量桶和自支撑铍薄膜的共同重量值；(d) 将步骤（c）所得重量值与不同气压下He气密度值进行线性数据拟合，得出称量桶和自支撑铍薄膜的共同质量及体积；(e) 由称量桶和自支撑铍薄膜的共同质量及体积减去称量桶的质量及体积，得出自支撑铍薄膜的质量及体积，计算出密度。