[发明专利]一种氧化镓基柔性日盲紫外火焰探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化镓基柔性日盲紫外火焰探测器及其制备方法，由α‑Ga2O3纳米柱阵列、非晶SiC薄膜、玻璃纤维布衬底以及Ti/Au薄膜电极组成，所述α‑Ga2O3纳米柱阵列与非晶SiC薄膜之间形成异质结，形成内建电场，可分离光生载流子；所述α‑Ga2O3纳米柱阵列位于非晶SiC薄膜上方，所述非晶SiC薄膜位于玻璃纤维布衬底上方；Ti/Au薄膜电极为两个，分别位于α‑Ga2O3纳米柱阵列和非晶SiC薄膜上方，其中Au薄膜位于Ti薄膜的上方。该探测器为MSSM型Ti/Au/α‑Ga2O3/SiC/Ti/Au异质结纳米阵列柔性日盲紫外火焰探测器件。该异质结器件在‑5V偏压下，可探测200‑280nm的日盲紫外光，可弯曲和折叠，并且性能稳定，在可穿戴设备、智能纺织品和室外火焰探测等领域具有很大的应用前景。

主权项

1.一种氧化镓基柔性日盲紫外火焰探测器，其特征在于，由α‑Ga2O3纳米柱阵列、非晶SiC薄膜、玻璃纤维布衬底以及Ti/Au薄膜电极组成，所述α‑Ga2O3纳米柱阵列与非晶SiC薄膜之间形成异质结，形成内建电场，可分离光生载流子；所述α‑Ga2O3纳米柱阵列位于非晶SiC薄膜上方，所述非晶SiC薄膜位于玻璃纤维布衬底上方；Ti/Au薄膜电极为两个，分别位于α‑Ga2O3纳米柱阵列和非晶SiC薄膜上方，其中Au薄膜位于Ti薄膜的上方。