[发明专利]涂布喷嘴清洗装置在审
| 申请号： | 201810528351.8 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108856113A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 吕良 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B1/02;B08B3/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂布喷嘴清洗装置，包括，辊筒，所述辊筒一部分所占的区域为涂布区，所述辊筒能够进行自转；主清洗装置，所述主清洗装置设于所述涂布区外，所述主清洗装置设有主液容纳腔，所述辊筒的一部分置于所述主液容纳腔内；以及副清洗装置，所述副清洗装置设于所述涂布区外，所述副清洗装置内部设有副液容纳腔，所述辊筒的一部分置于所述副液容纳腔内；所述辊筒自转经过所述涂布区的部位，能够随所述辊筒自转经过所述主液容纳腔和所述副液容纳腔；此时只需在主液容纳腔内注入光阻清洗液对光阻进行清洗，在副液容纳腔内注入纯水对光阻与光阻清洗液组成的混合物进行清洗，便能解决现有技术无法对光阻与清洗液混合物进行有效清洗的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗装置 容纳腔 辊筒 涂布区 副液 主液 自转 清洗 涂布喷嘴 清洗液混合物 光阻清洗液 混合物 清洗液 注入光 | ||
【主权项】：
1.一种涂布喷嘴清洗装置，其特征在于，包括，辊筒，所述辊筒一部分所占的区域为涂布区，所述辊筒能够进行自转；主清洗装置，所述主清洗装置设于所述涂布区外，所述主清洗装置设有主液容纳腔，所述辊筒的一部分置于所述主液容纳腔内；以及副清洗装置，所述副清洗装置设于所述涂布区外，所述副清洗装置内部设有副液容纳腔，所述辊筒的一部分置于所述副液容纳腔内；所述辊筒自转经过所述涂布区的部位，能够随所述辊筒自转经过所述主液容纳腔和所述副液容纳腔。
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