[发明专利]真空泵

摘要

提供一种真空泵，其可减少用以抑制反应产物的堆积的构成所花费的成本。真空泵包括：泵本体，包含收容转子的壳体、以及对转子进行驱动的马达；电源装置，具有对马达供给电力的电源电路，且供给有来自马达的再生电力；制动电阻，在自马达供给有再生电力的再生控制时，流通基于再生电力的电流而发热，在并未供给再生电力而供给有来自电源电路的电力的额定控制时，基于来自电源电路的电力流通电流而发热，从而对需要抑制反应产物的堆积的排气部进行加热；以及控制部，在再生控制及额定控制中，以将排气部的温度保持为抑制反应产物的堆积的堆积抑制温度的方式控制对制动电阻的电流的供给。

主权项

1.一种真空泵，其特征在于包括：泵本体，包含收容转子的壳体、以及对所述转子进行驱动的马达；电源装置，具有对所述马达供给电力的电源电路，且供给有来自所述马达的再生电力；制动电阻，在自所述马达供给有所述再生电力的再生控制时，流通基于所述再生电力的电流而发热，在并未供给所述再生电力而供给有来自所述电源电路的电力的额定控制时，基于来自所述电源电路的电力流通电流而发热，从而对需要抑制反应产物的堆积的加热对象部进行加热；以及控制部，在所述再生控制及所述额定控制中，以将所述加热对象部的温度保持为抑制反应产物的堆积的堆积抑制温度的方式控制对所述制动电阻的电流的供给。