[发明专利]气流分配装置及干刻蚀设备在审
| 申请号： | 201810503257.7 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108493089A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 方亮 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;程晓 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气流分配装置及干刻蚀设备。本发明的气流分配装置，通过在每个上天板气孔上方的气体管路内设置气阀叶片，并通过驱动组件带动相应气阀叶片转动而调整该气阀叶片的开启度，进而控制相应气体管路的输出气体流量，能够实现制程气流分配的精确性和高效性，可通过计算机单元有效控制各区域气阀叶片的开启度，实现干刻蚀设备的制程腔体内等离子体的均匀分布，改善产品电性，当需要调整制程气流分配时，无需通过保养工程来进行调整，节省了保养带来的人力及时间成本，提高生产效率，进而可根据不同产品对于不同电性需求快速调节气流分配。 | ||
| 搜索关键词： | 气阀 气流分配装置 干刻蚀设备 气流分配 制程 叶片 气体管路 开启度 保养 等离子体 输出气体流量 计算机单元 产品电性 电性需求 快速调节 驱动组件 生产效率 时间成本 叶片转动 有效控制 高效性 体内 | ||
【主权项】：
1.一种气流分配装置，其特征在于，包括上天板(10)、均匀分布在上天板(10)上的多个气孔(11)、设于上天板(10)上并分别与所述多个气孔(11)对应连通的多个气体管路(20)、分别设于所述多个气体管路(20)内的多个气阀叶片(30)及分别带动所述多个气阀叶片(30)在气体管路(20)内转动的多组驱动组件(40)；使用时，每一气体管路(20)通过对应的气孔(11)向外输出气体；通过所述驱动组件(40)带动相应气阀叶片(30)转动而调整该气阀叶片(30)的开启度，进而控制相应气体管路(20)的输出气体流量。
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