[发明专利]气流分配装置及干刻蚀设备

权利要求书

1.一种气流分配装置，其特征在于，包括上天板(10)、均匀分布在上天板(10)上的多个气孔(11)、设于上天板(10)上并分别与所述多个气孔(11)对应连通的多个气体管路(20)、分别设于所述多个气体管路(20)内的多个气阀叶片(30)及分别带动所述多个气阀叶片(30)在气体管路(20)内转动的多组驱动组件(40)；

使用时，每一气体管路(20)通过对应的气孔(11)向外输出气体；通过所述驱动组件(40)带动相应气阀叶片(30)转动而调整该气阀叶片(30)的开启度，进而控制相应气体管路(20)的输出气体流量。

2.如权利要求1所述的气流分配装置，其特征在于，每一驱动组件(40)包括基座(41)、叶片转动轴(42)及动力控制系统(43)；其中，所述基座(41)和动力控制系统(43)固定在所述上天板(10)上，所述叶片转动轴(42)安装在基座(41)上并穿过相应气体管路(20)与气阀叶片(30)连接，所述动力控制系统(43)通过叶片转动轴(42)使气阀叶片(30)进行转动，从而控制气阀叶片(30)开启度。

3.如权利要求2所述的气流分配装置，其特征在于，每一驱动组件(40)还包括主动轮(45)、从动轮(44)和主动轴(46)，所述动力控制系统(43)通过所述主动轴(46)连接主动轮(45)，所述主动轮(45)与从动轮(44)连接并带动从动轮(44)转动，所述从动轮(44)和叶片转动轴(42)连接，所述动力控制系统(43)通过主动轴(46)控制主动轮(45)转动并进一步带动从动轮(44)，从动轮(44)通过叶片转动轴(42)使气阀叶片(30)进行转动，从而控制气阀叶片(30)开启度。

4.如权利要求2所述的气流分配装置，其特征在于，所述动力控制系统(43)通过控制线路(46)与计算机单元(50)连接，所述计算机单元(50)将不同电信号通过控制线路(46)传输给所述动力控制系统(43)以控制所述叶片转动轴(42)的转动。

5.如权利要求2所述的气流分配装置，其特征在于，所述基座(41)贯穿相应的气体管路(20)并贴合在该气体管路(20)的外侧表面上。

6.如权利要求4所述的气流分配装置，其特征在于，所述动力控制系统(43)为步进电动机或伺服电动机。

7.如权利要求1所述的气流分配装置，其特征在于，所述气阀叶片(30)的材料为防腐蚀材料。

8.一种干刻蚀设备，其特征在于，包括用于进行干法刻蚀制程的制程腔(1)，所述制程腔(1)内设置有位于顶部的上电极部(2)；

所述上电极部(2)包括如权利要求1-7中任一项所述的气流分配装置，所述气流分配装置的气体管路(20)通过对应的气孔(11)向制程腔(1)内输入反应气体。

9.如权利要求8所述的干刻蚀设备，其特征在于，所述上天板(21)的材料为陶瓷材料。

10.如权利要求8所述的干刻蚀设备，其特征在于，还包括与所述上电极部(2)相对的位于所述制程腔(1)底部的下电极部(3)。