[发明专利]一种阻变层自选通阻变存储器及其构建方法与应用有效
申请号: | 201810501815.6 | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN108735898B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 蒋然;季昊;张鑫磊 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 叶亚林 |
地址: | 315000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明涉及一种阻变层自选通阻变存储器及其构建方法与应用。所述阻变存储器,包括堆叠层;所述堆叠层包括自外而内依次设置的第四Hf层、第四Si |
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搜索关键词: | 一种 阻变层 自选 通阻变 存储器 及其 构建 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种阻变层自选通阻变存储器,其特征在于,包括堆叠层;所述堆叠层包括自外而内依次设置的第四Hf层、第四Si3N4层、第三Hf层、第三Si3N4层、第二Hf层、第二Si3N4层、第一Hf层和第一Si3N4层;所述堆叠层的左右两侧分别设置有底电极和顶电极;所述底电极与第四Si3N4层、第三Si3N4层和第二Hf层连通并设置在第二Hf层的上表面;所述顶电极与整个堆叠层连通并设置在第一Si3N4层的上表面。
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