[发明专利]一种硅料的清洗工艺在审
| 申请号： | 201810488733.2 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108687029A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 黄兴晋;徐志群;汪奇;苏勇;蔺宝林;彭瑶;徐涛;张兴发 | 申请（专利权）人： | 新疆晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明为一种硅料的清洗工艺。一种硅料的清洗工艺，包括：(1)酸洗：将硅料浸泡在酸性起泡试剂中；(2)喷淋漂洗：将酸洗后的硅料取出并喷淋漂洗；(3)碱洗：将喷淋漂洗后的硅料浸泡在碱性清洗剂溶液中超声清洗；(4)中和：将碱洗后的硅料浸泡在酸性中和剂溶液中超声清洗；(5)超声清洗：将中和后的硅料浸泡在超纯水中超声清洗；(6)冲洗：将超声清洗后的硅料重复浸泡、冲洗；(7)将冲洗后的硅料烘干、包装。本发明所述的一种硅料的清洗工艺，无氮氧化物等废气排放，采用可生物降解、环保性能好的清洗剂组分，清洗过程中不发生化学腐蚀反应，无硅料损耗；还有该工艺简单易操作，清洗成品率可以达到99.8％，成晶率可以提高5％。 | ||
| 搜索关键词： | 硅料 超声清洗 清洗工艺 浸泡 喷淋漂洗 冲洗 碱洗 酸洗 清洗剂 碱性清洗剂溶液 中和 化学腐蚀反应 可生物降解 酸性中和剂 无氮氧化物 废气排放 起泡试剂 清洗过程 成品率 烘干 水中 清洗 取出 重复 环保 | ||
【主权项】：
1.一种硅料的清洗工艺，其特征在于，包括以下步骤：(1)酸洗：将硅料浸泡在25‑35℃的酸性起泡试剂中25‑35min，得酸洗后的硅料；(2)喷淋漂洗：将酸洗后的硅料取出，并喷淋漂洗2‑3次，得喷淋漂洗后的硅料；所述喷淋漂洗为喷淋、快排、漂洗；(3)碱洗：将喷淋漂洗后的硅料浸泡在质量分数为2‑4％的碱性清洗剂溶液中，在30‑60℃下，超声清洗6‑10min，得碱洗后的硅料；(4)中和：将碱洗后的硅料浸泡在质量分数为4‑6％的酸性中和剂溶液中，在30‑60℃下，超声清洗6‑10min，得中和后的硅料；(5)超声清洗：将中和后的硅料浸泡在超纯水中，在30‑60℃下，超声清洗6‑10min，得超声清洗后的硅料；(6)冲洗：将超声清洗后的硅料浸泡、冲洗，并重复浸泡、冲洗的操作，至冲洗后的水的电阻率不小于8MΩ·cm，得冲洗后的硅料；(7)将冲洗后的硅料烘干、包装。
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