[发明专利]一种硅料的清洗工艺

权利要求书

1.一种硅料的清洗工艺，其特征在于，包括以下步骤：

(1)酸洗：将硅料浸泡在25-35℃的酸性起泡试剂中25-35min，得酸洗后的硅料；

(2)喷淋漂洗：将酸洗后的硅料取出，并喷淋漂洗2-3次，得喷淋漂洗后的硅料；所述喷淋漂洗为喷淋、快排、漂洗；

(3)碱洗：将喷淋漂洗后的硅料浸泡在质量分数为2-4％的碱性清洗剂溶液中，在30-60℃下，超声清洗6-10min，得碱洗后的硅料；

(4)中和：将碱洗后的硅料浸泡在质量分数为4-6％的酸性中和剂溶液中，在30-60℃下，超声清洗6-10min，得中和后的硅料；

(5)超声清洗：将中和后的硅料浸泡在超纯水中，在30-60℃下，超声清洗6-10min，得超声清洗后的硅料；

(6)冲洗：将超声清洗后的硅料浸泡、冲洗，并重复浸泡、冲洗的操作，至冲洗后的水的电阻率不小于8MΩ·cm，得冲洗后的硅料；

(7)将冲洗后的硅料烘干、包装。

2.根据权利要求1所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述酸性起泡试剂包括：盐酸、复合驱油剂和水。

3.根据权利要求2所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述盐酸的质量分数小于5％；

所述复合去油剂的质量分数小于11％。

4.根据权利要求1所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述步骤(1)中，所述酸性起泡试剂的温度为30℃，浸泡时间为30min；

所述步骤(3)中，所述超声清洗的频率为35-45Hz；

所述步骤(4)中，所述超声清洗的频率为35-45Hz；

所述步骤(5)中，所述超声清洗的频率为35-45Hz；

所述步骤(6)中，重复浸泡、冲洗的操作3次；

所述步骤(7)中，所述烘干温度大于110℃。

5.根据权利要求4所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述步骤(7)中，所述烘干为高温鼓风烘干。

6.根据权利要求1所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述步骤(1)中，所述硅料为块状多晶料、头尾料和边皮料。

7.根据权利要求1所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述步骤(3)中，所述碱性清洗剂溶液的质量分数为3％；

所述步骤(4)中，所述酸性中和剂溶液的质量分数为5％。

8.根据权利要求1所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述步骤(3)中，所述碱性清洗剂包括：氢氧化钾和水，所述氢氧化钾的质量分数小于5％。

9.根据权利要求1所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述步骤(4)中，所述酸性中和剂溶液包括：有机酸、氧化钙、氧化镁、螯合剂的混合体和水；所述有机酸包括：醋酸；

所述醋酸的质量分数小于10％。

10.根据权利要求1所述的清洗工艺，其特征在于，其中，

所述清洗工艺还包括步骤(8)废液排放：将步骤(1)、步骤(3)和步骤(4)的废液进行中和处理，使其PH值为6-8后，可直接排放。