[发明专利]一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口

摘要

本发明提供了一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，所述红外透明窗口由蓝宝石基片及其上方的氧化铟基透明导电膜构成；所述红外透明窗口的方块电阻低于100Ω/sq，电子迁移率高于50cm²/Vs，0.78～2.5μm波长范围内具有平均大于或等于78％的透过率、2.5～5μm波长范围内具有平均大于或等于68％的透过率；所述蓝宝石基片的表面与蓝宝石c晶面存在0°～10°的偏离角，厚度为100～10000μm。本发明采用MOCVD方法制备氧化铟基透明导电膜，可同时兼顾近红外0.78～2.5μm和中红外2.5～5μm波段内的透过率和电磁屏蔽性能，便于大规模大尺寸生产，在红外光电器件领域具有良好的应用前景。

主权项

1.一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，所述红外透明窗口由蓝宝石基片及其上方的氧化铟基透明导电膜构成；所述红外透明窗口的方块电阻低于100Ω/sq，电子迁移率高于50cm²/Vs，0.78～2.5μm波长范围内具有平均大于或等于78％的透过率、2.5～5μm波长范围内具有平均大于或等于68％的透过率；所述氧化铟基透明导电膜为电子导电，自由电子浓度不高于5×10¹⁹cm^‑3；所述蓝宝石基片的表面与蓝宝石c晶面存在0°～10°的偏离角，厚度为100～10000μm；所述红外透明窗口的制备方法如下：S1.蓝宝石基片预处理：将蓝宝石基片表面清洗后，放入化学气相沉积反应室内，控制温度为300℃～900℃，压力为3～100Torr，处理1～60min；S2.氧化铟基透明导电膜生长：调整反应室温度为400～900℃，气压为1～760Torr，通入保护气氛；将装有铟源、氧源和掺杂源的鼓泡瓶沉浸在恒温水槽中，并通过质量流量计和压力计控制鼓泡瓶的流量和压力；往反应室通入铟源和氧源，并通入掺杂源，在蓝宝石基片表面外延生长出0.2～200μm的氧化铟基透明导电膜。