[发明专利]一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口

权利要求书

1.一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，所述红外透明窗口由蓝宝石基片及其上方的氧化铟基透明导电膜构成；所述红外透明窗口的方块电阻低于100Ω/sq，电子迁移率高于50cm²/Vs，0.78～2.5μm波长范围内具有平均大于或等于78％的透过率、2.5～5μm波长范围内具有平均大于或等于68％的透过率；所述氧化铟基透明导电膜为电子导电，自由电子浓度不高于5×10¹⁹cm^-3；所述蓝宝石基片的表面与蓝宝石c晶面存在0°～10°的偏离角，厚度为100～10000μm；

所述红外透明窗口的制备方法如下：

S1.蓝宝石基片预处理：将蓝宝石基片表面清洗后，放入化学气相沉积反应室内，控制温度为300℃～900℃，压力为3～100Torr，处理1～60min；

S2.氧化铟基透明导电膜生长：调整反应室温度为400～900℃，气压为1～760Torr，通入保护气氛；将装有铟源、氧源和掺杂源的鼓泡瓶沉浸在恒温水槽中，并通过质量流量计和压力计控制鼓泡瓶的流量和压力；往反应室通入铟源和氧源，并通入掺杂源，在蓝宝石基片表面外延生长出0.2～200μm的氧化铟基透明导电膜。

2.根据权利要求1所述具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，所述蓝宝石基片的表面与蓝宝石c晶面存在0.2°～2°的偏离角。

3.根据权利要求1所述具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，S1所述清洗包括有机和无机酸碱清洗。

4.根据权利要求1所述具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，所述蓝宝石基片厚度为400～5000μm。

5.根据权利要求1所述具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，所述氧化铟基透明导电膜的掺杂源为锡源，所含锡原子浓度不高于5×10¹⁹cm^-3。

6.根据权利要求1所述具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，所述铟源为三甲基铟。

7.根据权利要求1所述具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，所述氧源为氧气、水、笑气中的一种或多种的混合。

8.根据权利要求5所述具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口，其特征在于，所述锡源为四(二甲氨基)锡、四甲基锡、四乙基锡中的一种或多种的混合。