[发明专利]一种气体放电反应器、气体放电系统及三氯氢硅的制备方法

摘要

本发明提供一种气体放电反应器、气体放电系统及三氯氢硅的制备方法，属于多晶硅生产技术领域。气体放电反应器，包括内电极、外电极、第一电介质和第二电介质，外电极设置于内电极外，第二电介质设置于外电极内，第一电介质设置于内电极和外电极之间，内电极与第一电介质之间形成稀有气体放电腔室，第一电介质与外电极之间形成物料气放电腔室，气体放电反应器具有物料气进口和物料气出口，物料气进口和物料气出口均设置于外电极且连通物料气放电腔室。三氯氢硅的制备方法使用上述气体放电系统的气体放电反应器，在制备过程中将物料气和稀有气体分开，使稀有气体能够循环使用，并可以避免三氯氢硅的污染。

主权项

1.一种气体放电反应器，其特征在于，包括内电极、外电极、第一电介质和第二电介质，所述外电极设置于所述内电极外，所述第二电介质设置于所述外电极内，所述第一电介质设置于所述内电极和所述外电极之间，所述内电极与所述第一电介质之间形成稀有气体放电腔室，所述第一电介质与所述外电极之间形成物料气放电腔室，所述气体放电反应器具有物料气进口和物料气出口，所述物料气进口和所述物料气出口均设置于所述外电极且连通所述物料气放电腔室。