[发明专利]柔性显示装置的制造方法及制造装置、基板分离方法

摘要

本申请提供一种柔性显示装置的制造方法及制造装置、基板分离方法。所述柔性显示装置的制造方法包括：提供一衬底基板，其内部设有多个表面为平面、底面为凹面的折射区，所述折射区的折射率小于衬底基板的除折射区之外区域的折射率；在衬底基板上形成柔性基板；在柔性基板上形成显示面板；激光照射将衬底基板和柔性基板分离。基于此，本申请能够有利于提升LLO工序的良率。

主权项

1.一种柔性显示装置的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：/n提供一衬底基板，其内部设有沿平行于所述衬底基板方向排布的多个折射区，所述折射区的表面为平面、底面为凹面，所述折射区为所述衬底基板的中空区域，所述中空区域的内部填充有空气或惰性气体，以使得所述折射区的折射率小于所述衬底基板的除所述折射区之外区域的折射率；/n在所述衬底基板上形成柔性基板；/n在所述柔性基板上形成显示面板；/n自所述衬底基板背向所述显示面板的一侧进行激光照射，以使所述衬底基板和所述柔性基板分离；/n其中，所述衬底基板包括第一板体和第二板体，所述第一板体设置有凹槽，所述凹槽的底面为凹面，所述第二板体为实体结构，所述第二板体固定于所述第一板体上，且所述第二板体覆盖所述第一板体的凹槽，所述凹槽和其所对应的所述第二板体的底面构成所述折射区，所述第二板体的底面为所述折射区的表面，所述凹槽的底面为所述折射区的底面；所述激光依次经由所述第一板体、所述折射区的底面、所述折射区的表面，再经由所述第二板体出射至所述柔性基板；在所述激光由所述第一板体进入所述折射区时，所述激光发生折射，且折射角大于入射角，所述激光发散；在所述激光由所述折射区进入所述第二板体时，所述激光再次发生折射，折射角小于入射角，所述激光聚拢，以使得所述衬底基板的被遮挡区域所受到的激光能量增大。/n