[发明专利]一种单晶硅棒加工装置

摘要

本发明涉及一种单晶硅棒加工装置，包括工作台、送料机构、对刀移料机构和线锯切割运行机构，对刀移料机构包括吸盘、移料机构和检测机构，其中检测机构包括连接座、圆螺母、滑动销轴、复位弹簧、感应开关和感应板，连接座与移料架之间螺纹连接，圆螺母套设于连接座外，滑动销轴一端连接复位弹簧，另一端连接感应板，感应开关固定在连接座上，感应开关的感应端与连接座的侧壁相齐平，感应板与吸紧单晶硅棒后的吸盘面相齐平，线锯切割运行机构用于单晶硅晶进行加工。本装置的送料过程更加简单，单晶硅棒运送速度快，加工效率高，通过增设的检测机构保证确保单晶硅棒和原点定位的准确性，从而减小单晶硅棒切割长度误差，保证其加工精度。

主权项

1.一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述加工装置包括工作台、送料机构、对刀移料机构和线锯切割运行机构；所述工作台的顶面上设置有多个滚轮机构，所述多个滚轮机构沿工作台轴向排列；所述送料机构包括夹持机构和输送机构，所述夹持机构用于夹紧单晶硅棒，所述输送机构包括输送架和第一驱动机构，所述夹持机构固定在输送架上，所述第一驱动机构用于带动输送架沿工作台轴向运动；所述对刀移料机构包括吸盘、移料机构和检测机构，所述移料机构包括移料架和第二驱动机构，所述第二驱动机构用于带动移料架沿工作台轴向运动，所述吸盘固定在移料架上，吸盘用于贴吸在单晶硅棒的一端面上，所述检测机构包括连接座、圆螺母、滑动销轴、复位弹簧、感应开关和感应板，所述连接座与移料架之间螺纹连接，所述圆螺母套设于连接座外，连接座上开设有容置孔，所述复位弹簧位于容置孔中，所述滑动销轴一端连接复位弹簧，另一端连接感应板，所述感应开关固定在连接座上，感应开关的感应端与连接座的侧壁相齐平，所述感应板与吸紧单晶硅棒后的吸盘面相齐平；所述线锯切割运行机构包括机架、线锯切割单元和提升机构，所述线锯切割单元位于工作台的上方，线锯切割单元经由提升机构与机架固定，所述提升机构带动线锯切割单元对单晶硅晶进行加工。