[发明专利]一种MEMS可调光滤波器在审
| 申请号： | 201810427949.8 | 申请日： | 2018-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN108732744A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王念 | 申请（专利权）人： | 王念 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王守仁 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种MEMS可调光滤波器，是一种基于MEMS微镜和滤光片的可调光滤波器，该可调光滤波器包括以光路依次连接的MEMS微镜(4)、滤光片(5)、透镜(3)、反射镜(8)。本发明通过旋转MEMS微镜，可以改变入射到滤光片上的光线角度，从而改变滤光片输出的光波长，达到滤波的目的；通过级联滤波片，在实现精细光谱输出的同时，还可以实现输出光谱带宽的灵活可调，级联的方式有滤光片直接级联，也有级联可调光滤波器模块；有效地利用了MEMS微镜的旋转角度，光路设计紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 可调光滤波器 滤光片 级联 透镜 输出 光路设计 精细光谱 输出光谱 依次连接 反射镜 光波长 滤波片 有效地 光路 可调 滤波 入射 紧凑 带宽 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS可调光滤波器，其特征是一种基于MEMS微镜和滤光片的可调光滤波器，该可调光滤波器包括以光路依次连接的MEMS微镜(4)、滤光片(5)、透镜(3)、反射镜(8)。
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