[发明专利]一种MEMS可调光滤波器

权利要求书

1.一种MEMS可调光滤波器，其特征是一种基于MEMS微镜和滤光片的可调光滤波器，该可调光滤波器包括以光路依次连接的MEMS微镜(4)、滤光片(5)、透镜(3)、反射镜(8)。

2.根据权利要求1所述的MEMS可调光滤波器，其特征在于所述MEMS微镜(4)采用一维旋转的MEMS微镜，通过施加不同的驱动电压，可实现MEMS微镜的连续旋转，用于改变入射到滤光片(5)上的光线的角度，进而改变滤光片的输出波长，其尺寸应满足高斯光束的变换要求。

3.根据权利要求1所述的MEMS可调光滤波器，其特征在于所述滤光片(5)采用介质镀膜的工艺，通过MEMS微镜(4)与输入输出端口相连，用于波长调谐的输出，其尺寸为MEMS微镜(4)旋转时，光线扫描过的空间距离。

4.根据权利要求1所述的MEMS可调光滤波器，其特征在于所述滤光片(5)通过级联，实现光谱的“游标”效应，进而在单个滤光片输出光波长的基础上，实现更为精细的光谱带宽。

5.根据权利要求4所述的MEMS可调光滤波器，其特征在于所述滤光片(5)的级联方式为：滤光片(5)和级联滤光片(9)保持一固定的夹角，该夹角的具体数值应由所需输出的光谱波长和带宽值决定；滤光片(5)和级联滤光片(9)的光线入射角不一样，分别输出不同的光谱波长和带宽，级联之后，可以输出更加精细的光谱带宽；当MEMS微镜(4)旋转时，可同时改变滤光片(5)和级联滤光片(9)之上的光线入射角，但二者之间的相对角度关系会保持，输出带宽固定的光波长调谐光谱曲线。

6.根据权利要求1所述的MEMS可调光滤波器，其特征在于所述透镜(3)采用体透镜，用于实现高斯光束的耦合匹配，该透镜(3)的尺寸应匹配滤光片(5)的尺寸。

7.根据权利要求1所述的MEMS可调光滤波器，其特征在于所述反射镜(8)采用平面反射镜，用于实现光线的原路反射，使光线再次通过透镜(3)、滤光片(5)、MEMS微镜(4)，从输出端口输出。

8.根据权利要求1所述的MEMS可调光滤波器，其特征在于该可调光滤波器通过级联的方式，实现精细和带宽灵活可调的光谱输出；通过增加一个MEMS微镜，单独改变级联滤光片(9)上的入射角度，即可实现带宽可调的精细波长调谐。

9.根据权利要求8所述的MEMS可调光滤波器，其特征是采用两个可调光滤波器级联的方案，具体为：滤光片(5)和级联滤光片(9)分别构成一个可调光滤波器模块，每个滤光片单独对应一个MEMS微镜(4)，二者的光线入射角度独立进行调节，在实现精细光谱输出的同时，也可对带宽进行灵活调整。

10.根据权利要求1所述的MEMS可调光滤波器，其特征在于采用滤光片级联的结构，在实现精细光谱输出的同时，还实现输出光谱带宽的灵活可调，级联的方式有滤光片直接级联，或者有级联可调光滤波器模块。