[发明专利]带电粒子显微镜中的枪透镜设计有效
| 申请号： | 201810393514.6 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108807120B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | A.莫哈姆马迪-格海达里;A.亨斯特拉;P.C.蒂伊梅杰;K.刘;P.多纳;G.A.施温德;G.J.范德瓦特;M.比斯乔夫 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/12;H01J37/143 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了带电粒子显微镜中的枪透镜设计。一种带电粒子显微镜，包括：‑真空外壳；‑源，用于产生带电粒子的束；‑样品支架，用于保持样品；‑照明器，被提供在所述源和样品支架之间，并且在所述束的传播方向上包括：▪源透镜；▪聚光器系统；‑检测器，用于检测响应于由所述束的照射而从样品发出的辐射，其中，所述源透镜是复合透镜，其在所述传播方向上包括：‑磁透镜，包括永磁体，所述永磁体被部署在所述真空外壳之外但是在其内产生磁场；‑可变静电透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 显微镜 中的 透镜 设计 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子显微镜，包括：‑真空外壳；‑源，用于产生带电粒子的束；‑样品支架，用于保持样品；‑照明器，被提供在所述源和样品支架之间，并且在所述束的传播方向上包括：▪源透镜；▪聚光器系统；‑检测器，用于检测响应于由所述束的照射而从样品发出的辐射，其特征在于，所述源透镜是复合透镜，其在所述传播方向上包括：‑磁透镜，包括永磁体，所述永磁体被部署在所述真空外壳之外但是在其内产生磁场；‑可变静电透镜。
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