[发明专利]带电粒子显微镜中的枪透镜设计

权利要求书

1.一种带电粒子显微镜（M），包括：

-真空外壳（2）；

-源（4），用于产生带电粒子的束（B）；

-样品支架（H），用于保持样品（S）；

-照明器（6），被提供在所述源（4）和样品支架（H）之间，并且在所述束（B）的传播方向上包括：

源透镜（8），用于在源产生之后立刻影响束的放大/准直；

聚光器系统（10）；

-检测器，用于检测响应于由所述束（B）的照射而从样品（S）发出的辐射，

其中，所述源透镜（8）是复合透镜，其在所述传播方向上包括：

-磁透镜（8a），包括永磁体（16），所述永磁体（16）被部署在所述真空外壳（2）之外但是在其内产生磁场；以及

-可变静电透镜（8b），

其特征在于，所述源透镜（8）还包括对准束偏转器（8c），所述对准束偏转器（8c）被提供在所述磁透镜（8a）和所述静电透镜（8b）之间。

2.根据权利要求1所述的显微镜（M），其中在所述静电透镜（8b）和所述聚光器系统（10）之间提供有单色器。

3.根据权利要求1到2中的任何一项所述的显微镜（M），其中所述磁透镜（8b）包括磁轭（18），其被至少部分地提供在所述真空外壳（2）内，并且包括所述源（4）的一个或多个组件。

4.根据权利要求3所述的显微镜（M），其中所述源（4）包括提取器电极（508），其被至少部分地包括在所述轭（18）的第一极片中。

5.根据权利要求3所述的显微镜（M），其中所述源（4）包括限制电极，其被至少部分地包括在所述轭（18）的第二极片中。

6.根据权利要求1或2所述的带电粒子显微镜（M），其中从包括冷场发射枪（CFEG）、电子碰撞离子源、纳米孔径离子源（NAIS）、液态金属离子源（LMIS）和场电离源的组中选择所述源（4）。

7.一种操作带电粒子显微镜（M）的方法，包括：

-在样品支架（H）上提供样品（S）；

-使用源（4）来产生带电粒子的束（B）；

-使所述束（B）通过照明器（6），所述照明器（6）被提供在所述源（4）和样品支架（H）之间，并且在所述束（B）的传播方向上包括：

源透镜（8），用于在源产生之后立刻影响束的放大/准直；

聚光器系统（10）；

-利用从所述照明器（6）发出的束（B）照射样品（S）；

-使用检测器来检测响应于所述照射而从样品（S）发出的辐射，

-进行配置并将所述源透镜（8）用作为复合透镜，在所述传播方向上包括：

-磁透镜（8a），包括永磁体，所述永磁体被部署在真空外壳（2）之外但是在其内产生磁场；以及

-可变静电透镜（8b），

其中所述方法还包括利用被提供在所述磁透镜（8a）和所述静电透镜（8b）之间的对准束偏转器（8c）来对所述束（B）进行对准。