[发明专利]感光性聚酰亚胺组成物及其所制成的光阻膜有效
| 申请号： | 201810383164.5 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110133963B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 杨子瑾;钟明哲 | 申请（专利权）人： | 新应材股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人： | 段淑华;刘曾剑 |
| 地址： | 中国台湾桃园市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
一种感光性聚酰亚胺组成物，其包括具有以式(1)所示的结构单元及以式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂、醌迭氮磺酸盐、热硬化剂、以及热酸产生剂。 |
||
| 搜索关键词： | 感光性 聚酰亚胺 组成 及其 制成 光阻膜 | ||
【主权项】：
1.一种感光性聚酰亚胺组成物，其特征在于，包括具有以式(1)所示的结构单元及以式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂、醌迭氮磺酸盐、热硬化剂、以及热酸产生剂；![]()
式(1)及(2)中，n为10‑600的整数，Ar1为四价有机基团，Ar2为二至四价有机基团；Ar3为二价芳基，R1为一OH基或COOH基。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新应材股份有限公司，未经新应材股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810383164.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
