[发明专利]感光性聚酰亚胺组成物及其所制成的光阻膜

权利要求书

1.一种感光性聚酰亚胺组成物，其特征在于，包括具有以式(1)所示的结构单元及以式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂、醌迭氮磺酸盐、热硬化剂、以及热酸产生剂；

式(1)及(2)中，n为10-600的整数，Ar₁为四价有机基团，Ar₂为二至四价有机基团；Ar₃为二价芳基，R₁为一OH基或COOH基；

其中所述热硬化剂包括环氧系化合物及三聚氰胺系化合物，所述环氧系化合物与所述三聚氰胺系化合物的重量比例为3:1-4:3。

2.如权利要求1所述的感光性聚酰亚胺组成物，其特征在于，相对于所述聚酰亚胺树脂100重量份，所述醌迭氮磺酸盐为10-30重量份。

3.如权利要求1所述的感光性聚酰亚胺组成物，其特征在于，相对于所述聚酰亚胺树脂100重量份，所述热硬化剂为10-50重量份。

4.如权利要求1所述的感光性聚酰亚胺组成物，其特征在于，所述热酸产生剂为锍鎓盐。

5.如权利要求4所述的感光性聚酰亚胺组成物，其特征在于，相对于所述聚酰亚胺树脂100重量份，所述热酸产生剂为1-5重量份。

6.如权利要求4所述的感光性聚酰亚胺组成物，其特征在于，所述锍鎓盐为选自由氯化物、溴化物、对甲苯磺酸盐、三氟甲烷磺酸盐、四氟硼酸盐、四(五氟苯基)硼酸盐、四(五氟苯基)镓酸盐、六氟磷酸盐、六氟砷酸盐、及六氟锑酸盐所组成族群中的至少一种。

7.如权利要求1所述的感光性聚酰亚胺组成物，其特征在于，所述聚酰亚胺树脂为式(3)所示的结构；

式(3)中，n为10-600的整数。

8.一种光阻膜的制造方法，其特征在于，包括：

将如权利要求1至7中的任一项所述的感光性聚酰亚胺组成物涂布于基板；

对所述感光性聚酰亚胺组成物进行曝光；以及

进行显影。

9.如权利要求8所述的光阻膜的制造方法，其特征在于，于对所述感光性聚酰亚胺组成物进行曝光之前，还包括以100℃-120℃进行预烤。

10.如权利要求8所述的光阻膜的制造方法，其特征在于，于进行显影之后，还包括以200℃-250℃进行后烤。