[发明专利]滤波器装置和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201810378133.0 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108735569B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 奥西直彦;永岛望 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683;H01P1/20;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有能够配置在小的空间中的多个线圈的滤波器装置和等离子体处理装置。滤波器装置具备多个线圈和多个电容器。多个线圈构成多个线圈组。多个线圈组各自包括两个以上的线圈。在多个线圈组的各个线圈组中，两个以上的线圈设置为：各个线圈的卷绕部绕中心轴线螺旋状地延伸，且各个线圈的单匝线圈沿着中心轴线所延伸的轴线方向依次重复地排列。多个线圈组相对于中心轴线同轴地设置。多个线圈组中的任意一个线圈组的两个以上的线圈各自的单匝线圈间的间距比多个线圈组中的设置于该一个线圈组的内侧的线圈组的两个以上的线圈各自的单匝线圈间的间距大。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 装置 等离子体 处理 | ||
【主权项】：
1.一种滤波器装置，具备：多个线圈；多个电容器，所述多个电容器分别连接在所述多个线圈与地之间；以及框架，其电接地，在该框架中收纳有所述多个线圈，其中，所述多个线圈构成多个线圈组，各个线圈组包括两个以上的线圈，在所述多个线圈组的各个所述线圈组中，所述两个以上的线圈设置为：各个线圈的卷绕部绕中心轴线螺旋状地延伸，且各个线圈的单匝线圈沿着该中心轴线所延伸的轴线方向依次重复地进行排列，所述多个线圈组相对于所述中心轴线同轴地设置，所述多个线圈组中的任意一个线圈组的所述两个以上的线圈各自的单匝线圈间的间距比所述多个线圈组中的设置于所述一个线圈组的内侧的线圈组的所述两个以上的线圈各自的单匝线圈间的间距大。
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