[发明专利]一种柔性气体传感器芯片结构在审
| 申请号： | 201810373184.4 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108802113A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 徐雪华 | 申请（专利权）人： | 佛山市澄澜点寸科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市三水区西南街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性气体传感器芯片结构，其包括柔性衬底、柔性气体传感单元和柔性盖层，柔性气体传感单元为多个且互相之间间隔设置，每个柔性气体传感单元包括柔性下电极和柔性上电极，柔性下电极和柔性上电极之间设置气体敏感层，柔性衬底中设置金属丝作为连接电极，柔性盖层下面设置金属丝作为连接电极，柔性下电极与分别柔性衬底中的金属丝连接，柔性上电极与柔性盖层下面的金属丝连接，柔性盖层上具有孔，孔设置的位置在柔性气体传感单元之间的间隔位置处且避开柔性盖层中的金属丝，解决了目前气体传感器柔性需求下的封装的问题，通过该封装结构实现柔性气体传感器，使气体传感器的应用场景得到扩展。 | ||
| 搜索关键词： | 金属丝 柔性盖 气体传感单元 气体传感器 下电极 电极 衬底 气体传感器芯片 连接电极 间隔位置处 气体敏感层 封装结构 间隔设置 应用场景 孔设置 封装 避开 | ||
【主权项】：
1.一种柔性气体传感器芯片结构，其包括柔性衬底、柔性气体传感单元和柔性盖层，其特征在于，所述柔性气体传感单元为多个且互相之间间隔设置，每个柔性气体传感单元包括柔性下电极和柔性上电极，所述柔性下电极和柔性上电极之间设置气体敏感层，所述柔性衬底中设置金属丝作为连接电极，所述柔性盖层下面设置金属丝作为连接电极，所述柔性下电极与分别所述柔性衬底中的金属丝连接，所述柔性上电极与所述柔性盖层下面的金属丝连接，所述柔性盖层上具有孔，所述孔设置的位置在柔性气体传感单元之间的间隔位置处且避开柔性盖层中的金属丝。
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