[发明专利]空芯光纤传输式紫外激光微加工装置及加工方法在审
| 申请号： | 201810343340.2 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108274112A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 赵晓杰;王云兵;欧志龙 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空芯光纤传输式紫外激光微加工装置及加工方法，该装置由顺次连接的紫外激光器、光纤耦合器件、空芯光纤传输机构和光纤聚焦器件组成，其中紫外激光器用于产生紫外波段的激光，光纤耦合器件用于将产生的紫外激光耦合传输至空芯光纤传输机构，空芯光纤传输机构用于将接收到的紫外激光传输至加工工件表面或者工件内部的狭小空间中，光纤聚焦器件则起到将空芯光纤传输机构传输的紫外激光进行聚焦，使其可以用于加工微小部件或者在工件内部狭小的空间内进行加工。该加工装置体积小、重量轻、灵活度高，集成了光纤传输技术，可处理加工工件内部微小结构，具有微加工的作用，扩大了紫外激光设备的应用范围，加工方法简单精准。 | ||
| 搜索关键词： | 空芯光纤 紫外激光 传输机构 加工 光纤耦合器件 微加工装置 紫外激光器 聚焦器件 传输式 光纤 光纤传输技术 加工工件表面 加工工件 加工装置 顺次连接 微小部件 微小结构 狭小空间 紫外波段 耦合传输 传输 灵活度 体积小 微加工 重量轻 激光 聚焦 应用 | ||
【主权项】：
1.一种空芯光纤传输式紫外激光微加工装置，其特征在于，所述装置由顺次连接的紫外激光器、光纤耦合器件、空芯光纤传输机构和光纤聚焦器件组成。
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