[发明专利]空芯光纤传输式紫外激光微加工装置及加工方法在审
| 申请号： | 201810343340.2 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108274112A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 赵晓杰;王云兵;欧志龙 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空芯光纤 紫外激光 传输机构 加工 光纤耦合器件 微加工装置 紫外激光器 聚焦器件 传输式 光纤 光纤传输技术 加工工件表面 加工工件 加工装置 顺次连接 微小部件 微小结构 狭小空间 紫外波段 耦合传输 传输 灵活度 体积小 微加工 重量轻 激光 聚焦 应用 | ||
1.一种空芯光纤传输式紫外激光微加工装置，其特征在于，所述装置由顺次连接的紫外激光器、光纤耦合器件、空芯光纤传输机构和光纤聚焦器件组成。
2.根据权利要求1所述的空芯光纤传输式紫外激光微加工装置，其特征在于，所述紫外激光器的发射光波长小于400nm。
3.根据权利要求2所述的空芯光纤传输式紫外激光微加工装置，其特征在于，所述光纤耦合器件为光学棱镜组、耦合物镜、光学透镜阵列、全息漫反射器件、衍射光学元件中的任一种或几种的组合。
4.根据权利要求1-3任一项所述的空芯光纤传输式紫外激光微加工装置，其特征在于，所述空芯光纤传输机构为至少一条中心波长处于紫外波段的空芯光纤。
5.根据权利要求4所述的空芯光纤传输式紫外激光微加工装置，其特征在于，所述的光纤聚焦器件连接于所述空芯光纤传输机构光纤输出的一端，为球面结构、锥形结构、侧向发射结构或径向发射结构中的至少一种。
6.根据权利要求5所述的空芯光纤传输式紫外激光微加工装置，其特征在于，所述光纤聚焦器件为光学透镜组。
7.根据权利要求6所述的空芯光纤传输式紫外激光微加工装置，其特征在于，所述光学透镜组包括至少一个光学透镜。
8.一种利用权利要求1-7任一项所述的空芯光纤传输式紫外激光微加工装置进行加工的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、紫外激光器发射紫外激光光束；
S2、光纤耦合器将所述紫外激光光束耦合入空芯光纤传输机构；
S3、所述紫外激光光束经空芯光纤传输机构传输至所述空芯光纤传输机构输出端的光纤聚焦器件；
S4、所述光线聚焦器件将激光光束聚焦至工件待加工部位进行加工。
9.根据权利要求8所述的利用空芯光纤传输式紫外激光微加工装置进行加工的方法，其特征在于，所述待加工部位位于工件表面或内部空间。
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