[发明专利]一种基于原子力显微镜的多波段样品辐照系统

摘要

本发明公开了一种基于原子力显微镜的多波段样品辐照系统。装置系统主要由辐照装置、外部光源及光导纤维构成，其中辐照装置由外壳、点光源、透镜、遮光罩组成，使用时辐照装置部分配合原子力显微镜安装于载物台下，外部光源发出特定波段的入射光束，光束经光导纤维传导至辐照装置内部的点光源并向上呈点状扩散，发散光经透镜约束呈平行光照射材料样品表面。该装置系统独立于原子力显微镜的激光系统且不与其产生干涉，通过采用不同的外部光源或加装滤光片的方式对辐照波段进行调节，通过变更原子力显微镜扫描探针模块及软件方案的方式实现对样品力、电、磁、热学等多种性能指标的实时检测。

主权项

1.一种基于原子力显微镜的多波段样品辐照装置，其特征在于：所述装置系统包括辐照装置、外部光源及光导纤维；所述辐照装置安装于原子力显微镜样品台下方，由外壳、点光源、透镜及遮光罩组成，点光源发出光束经透镜折射为平行光用于辐照被测样品；所述外部光源安装于原子力显微镜旁，通过光导纤维将入射光束传导至辐照装置内，通过更换外部光源及采用滤光镜可得到从紫外、可见光、红外等不同波段的入射光，该装置可实现在辐照样品材料的同时，使用原子力显微镜对被测样品表面相关力、电、磁、热学性能进行实时测试。