[发明专利]一种基于原子力显微镜的多波段样品辐照系统

权利要求书

1.一种基于原子力显微镜的多波段样品辐照系统，其特征在于：所述辐照系统包括辐照装置、外部光源及光导纤维；所述辐照装置安装于原子力显微镜样品台下方，由外壳、点光源、透镜及遮光罩组成，点光源发出光束经透镜折射为平行光用于辐照被测样品；所述外部光源安装于原子力显微镜旁，通过光导纤维将入射光束传导至辐照装置内，通过更换外部光源及采用滤光镜可得到紫外、可见光、红外不同波段的入射光；特定波段的光束经光导纤维进入光辐照装置内部，由光辐照装置内的透镜形成一定大小光斑的平行光束照射在原子力显微镜载物台上样品材料的底面；通过调节透镜焦距实现对被测材料表面辐照光斑大小的调节，可实现对材料表面辐照光束功率密度调整的作用；该装置可实现在辐照样品材料的同时，使用原子力显微镜对被测样品表面相关力、电、磁、热学性能进行实时测试。

2.如权利要求1所述的一种基于原子力显微镜的多波段样品辐照系统，其特征在于通过更换外部光源或采用不同的滤光片的方式实现紫外波段、可见光波段以及红外波段不同波段光束对样品材料的辐照。

3.如权利要求1所述的一种基于原子力显微镜的多波段样品辐照系统，其特征在于入射光束经光辐照装置调整，以平行光的形式从显微镜样品台底部辐照样品，避免了辐照光束对原子力显微镜自有激光检测系统的干涉。