[发明专利]一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线在审
| 申请号： | 201810315088.4 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN108445563A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 姚鹏飞;李淘;李雪;邵秀梅;龚海梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B6/122 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 李秀兰 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线，从上至下依次是低折射率覆盖层，金属纳米球体阵列和探测器衬底。所述低折射率覆盖层的折射率在1.3至2.3之间，金属纳米球体直径300‑500纳米，周期700‑900纳米。金属纳米天线结构通过光散射与表面局域场增强效应，可以提升探测器的光吸收性能，增强探测器对入射光的响应，改善量子效率，并且制备工艺简单，制备成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 金属纳米 探测器 光电探测器 单片集成 低折射率 覆盖层 光天线 金属纳米天线 光吸收性能 从上至下 量子效率 球体阵列 制备工艺 光散射 局域场 入射光 折射率 球体 衬底 制备 响应 | ||
【主权项】：
1.一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线，由衬底(3)、金属纳米球体阵列(2)和低折射率覆盖层(1)构成，其特征在于：所述的金属纳米天线结构为：从衬底(3)自下而上依次是金属纳米球体阵列(2)、低折射率覆盖层(1)；所述金属纳米球体阵列(2)排列周期p是700‑900纳米，单个球体的直径d是300‑500纳米，金属纳米球体阵列(2)的材料采用金、铝或银；所述的低折射率覆盖层(1)的折射率在1.3至2.3之间，厚度h是400‑600纳米，材料采用SiO2、Si3N4或者ZnS。
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