[发明专利]一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台及其实现方法

摘要

本发明公开了一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，包括基座、Y1向气浮导轨、Y2向气浮导轨、Y1向气浮滑块、Y2向气浮滑块、X1向气浮横梁导轨、X2向气浮横梁导轨、Y1向驱动连接件、Y2向驱动连接件、X1向气浮滑块、X2向气浮滑块、载物板、Y1向电机定子、Y1向电机动子、Y2向电机定子、Y2向电机动子、X1向电机定子1、X2向电机定子2、上光谱共焦传感器、Z轴滑台和下光谱聚焦传感器；本发明还公开了一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台的实现方法。本发明采用XY双向双驱气浮导轨，可使载物平面跳动1个微米，以满足行业日愈严格的检测要求；本发明通过采用气浮导轨设计，避免像传统的机械导轨采用油脂润滑进行密封维护。

主权项

1.一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：包括基座(1)、Y1向气浮导轨(5)、Y2向气浮导轨(6)、Y1向气浮滑块(7)、Y2向气浮滑块(8)、X1向气浮横梁导轨(9)、X2向气浮横梁导轨(10)、Y1向驱动连接件(13)、Y2向驱动连接件(14)、X1向气浮滑块(15)、X2向气浮滑块(16)、载物板(19)、Y1向电机定子(20)、Y1向电机动子(21)、Y2向电机定子(22)、Y2向电机动子(23)、X1向电机定子(24)、X2向电机定子(25)、上光谱共焦传感器(26)、Z轴滑台(27)和下光谱聚焦传感器(41)；所述基座(1)的上端一侧安装有左立柱(2)，所述基座(1)的另一侧安装有右立柱(4)，所述右立柱(4)和左立柱(2)的上端安装有大理石横梁(3)，所述基座(1)的上端正对大理石横梁(3)下端位置分别设置有Y1向气浮导轨(5)和Y2向气浮导轨(6)，所述Y1向气浮导轨(5)和Y2向气浮导轨(6)的内侧分别安装有Y1向气浮滑块(7)和Y2向气浮滑块(8)，所述Y1向气浮滑块(7)和Y2向气浮滑块(8)之间固定安装有X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)，所述X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)的上端分别对应安装有X1向气浮滑块(15)和X2向气浮滑块(16)，X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)与X1向气浮滑块(15)和X2向气浮滑块(16)通过载物板连接件一(17)、载物板连接件二(18)与载物板(19)连接，所述X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)的内侧分别设置有X1向电机定子(24)和X2向电机定子(25)，所述载物板连接件一(17)和载物板连接件二(18)的下端分别安装有X1向气浮滑块(15)、X1电机动子(25)和X2向气浮滑块(16)、X2电机动子(26)，所述X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)的下端分别安装有X向导轨加强筋一(11)和X向导轨加强筋二(12)；所述大理石横梁(3)的中间位置安装有Z轴滑台(27)，所述Z轴滑台(27)与大理石横梁(3)之间设置有Z轴滑台连接件(28)，所述Z轴滑台(27)靠近载物板(19)的一侧安装有上光谱共焦传感器(26)，所述Y1向气浮导轨(5)和Y2向气浮导轨(6)的外侧分别安装有Y1向电机定子(20)和Y2向电机定子(22)，所述Y1向电机定子(20)和Y2向电机定子(22)的上端分别安装有Y1向电机动子(21)和Y2向电机动子(23)，所述Y1向电机动子(21)和Y2向电机动子(23)的上端分别安装有Y1向驱动连接件(13)和Y2向驱动连接件(14)，所述载物板(19)的内部凹槽与上光谱共焦传感器(26)对应位置设置有下光谱聚焦传感器(41)。