[发明专利]基板传输方法及基板传输设备

摘要

本发明公开了一种基板传输方法，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在下游机台发生故障时，启用位于下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经缓冲机台进入下游机台；确定缓冲机台内的基板的数量n0，当缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭缓冲机台，基板直接自上游机台流入下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从缓冲机台搬运至下游机台的时间。本发明利用缓冲机台来避免下游机台发生故障时导致的堆片，可以根据缓冲机台内的基板的实际数量确定搬运方式，也保证了生产线流片过程的持续性，避免长时间停机影响生产效率。

主权项

1.一种基板传输方法，其特征在于，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在所述下游机台发生故障时，启用位于所述下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经所述缓冲机台进入所述下游机台；确定所述缓冲机台内的基板的数量n0，当所述缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从所述缓冲机台搬运至所述下游机台的时间。