[发明专利]基板传输方法及基板传输设备

说明书

本发明公开了一种基板传输方法，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在下游机台发生故障时，启用位于下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经缓冲机台进入下游机台；确定缓冲机台内的基板的数量n₀，当缓冲机台内的基板的数量n₀小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭缓冲机台，基板直接自上游机台流入下游机台，其中，t≥n₀*t₀，t₀为单片基板从缓冲机台搬运至下游机台的时间。本发明利用缓冲机台来避免下游机台发生故障时导致的堆片，可以根据缓冲机台内的基板的实际数量确定搬运方式，也保证了生产线流片过程的持续性，避免长时间停机影响生产效率。

技术领域

本发明涉及基板传输技术领域，尤其涉及一种基板传输方法及基板传输设备。

背景技术

液晶面板行业色彩基板主要的制程流程为清洗→涂布→预烘烤→曝光→显影→后烘烤，制程中间还存在检测、量测(全检/抽检)等设备，总体为流水线生产，因基板在制程设备内停留会造成基板异常，为防止下游设备异常导致基板在上游设备停留，故在主制程设备后会添加buffer(缓冲)设备做为预防，当下游设备异常时，基板从上游设备进入到buffer设备，然后流入到下游设备，从而避免了基板的停留。

当生产线的tact time(节拍时间)到极限时，一旦有玻璃进buffer设备，就很难再出来，所以buffer设备一般会启用先入先出功能，即当有玻璃进buffer时，后续上游机台产生的基板都会先放进buffer设备，再把最先进入buffer设备的玻璃取出放入下游机台。

当生产线tact time到极限时，下游设备一旦异常出现异常，有基板进入buffer设备，因先入先出原则，从第一块基板进入buffer设备到出buffer设备需要一定的时间，会影响整体的流片速度，导致buffer里面基板越来越多，直到buffer设备内基板传输受阻而导致上游的基板传输受阻，使整个产线停线。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种基板传输方法及基板传输设备，可以确保设备短暂的停机或宕机均不会影响产线上基板的传输，且不会影响产品的品质。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种基板传输方法，包括：

基板自上游机台进入下游机台；

判断下游机台是否故障；

在所述下游机台发生故障时，启用位于所述下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经所述缓冲机台进入所述下游机台；

确定所述缓冲机台内的基板的数量n₀，当所述缓冲机台内的基板的数量n₀小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台，其中，t≥n₀*t₀，t₀为单片基板从所述缓冲机台搬运至所述下游机台的时间。

作为其中一种实施方式，当所述缓冲机台内的基板的数量n₀达到预设极大值时，不进行计时，当基板经所述缓冲机台进入所述下游机台直至所述缓冲机台内的基板的数量n₀达到预设极小值时，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台。

作为其中一种实施方式，所述缓冲机台为多个，多个所述缓冲机台分别位于不同的所述上游机台和所述下游机台之间。

作为其中一种实施方式，其中一个所述上游机台为烘烤机台，其中一个所述下游机台为第一检测机台，所述烘烤机台和所述第一检测机台之间设有一个所述缓冲机台。