[发明专利]一种制备钼钛合金溅射靶材的方法有效
| 申请号： | 201810264866.1 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108374152B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 周伟;李倩;辛社伟;李磊;陈军;张思远 | 申请（专利权）人： | 西北有色金属研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C14/00;C22C1/02 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710016*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备钼钛合金溅射靶材的方法，该方法为：一、用多孔筛筛选出海绵钛；二、将钼粉和筛选出的海绵钛进行机械混合得到混合料；三、将制成的混合料和平均粒度不超过15mm的海绵钛按照下层海绵钛、中层混合料和上层海绵钛的顺序进行布料，压制后制成钼钛合金电极；四、将制备的钼钛合金电极置于真空自耗电弧熔炼炉中进行熔炼，得到钼钛合金铸锭；五、将钼钛合金铸锭经过表面处理后，切割成特定形状的钼钛合金溅射靶材。本发明制备的钼钛合金靶材较传统粉末冶金方法制备的合金靶材具有工艺简单、成本低、尺寸可调范围广的特点，而且制备的合金靶致密、成分均匀性良好，品质稳定，适合大批量工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 钛合金 溅射 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备钼钛合金溅射靶材的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、用多孔筛筛选出平均粒度为8mm～10mm的海绵钛；步骤二、将钼粉和步骤一中筛选出的海绵钛进行机械混合得到混合料；所述钼粉的平均粒度为10μm～15μm；步骤三，将步骤二中制成的混合料和平均粒度不超过15mm的海绵钛按照下层海绵钛、中层混合料和上层海绵钛的顺序进行布料，压制后制成钼钛合金电极；步骤四、将步骤三中制备的钼钛合金电极置于真空自耗电弧熔炼炉中进行熔炼，得到钼钛合金铸锭；步骤五、将步骤四中得到的钼钛合金铸锭经过表面处理后，切割成特定形状的钼钛合金溅射靶材。
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