[发明专利]一种制备钼钛合金溅射靶材的方法有效
| 申请号： | 201810264866.1 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108374152B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 周伟;李倩;辛社伟;李磊;陈军;张思远 | 申请（专利权）人： | 西北有色金属研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C14/00;C22C1/02 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710016*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 钛合金 溅射 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备钼钛合金溅射靶材的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤一、用多孔筛筛选出平均粒度为8mm~10mm的海绵钛；
步骤二、将钼粉和步骤一中筛选出的海绵钛进行机械混合得到混合料；所述钼粉的平均粒度为10μm～15μm，所述钼粉和海绵钛的质量比为（1~2）：（3~4），所述机械混合的时间为8min~10min；
步骤三、将步骤二中制成的混合料和平均粒度不超过15mm的海绵钛按照下层海绵钛、中层混合料和上层海绵钛的顺序进行布料，压制后制成钼钛合金电极；
步骤四、将步骤三中制备的钼钛合金电极置于真空自耗电弧熔炼炉中进行熔炼，得到钼钛合金铸锭；
步骤五、将步骤四中得到的钼钛合金铸锭经过表面处理后，切割成特定形状的钼钛合金溅射靶材。
2.根据权利要求1所述的一种制备钼钛合金溅射靶材的方法，其特征在于，步骤三中所述下层海绵钛和上层海绵钛的质量相同。
3.根据权利要求1所述的一种制备钼钛合金溅射靶材的方法，其特征在于，步骤四中所述熔炼的次数为三次。
4.根据权利要求1所述的一种制备钼钛合金溅射靶材的方法，其特征在于，步骤五中所述表面处理包括去除表面微孔和切除冒口缩孔处理。
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