[发明专利]一种锑掺杂铜锌锡硫硒靶材及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810261996.X | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108468027B | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 庄大明;赵明;吴逸轩;孙汝军;魏要伟;任国铵;张冷;吕循岩;彭孝;王晨;胡岚 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区双清路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种锑掺杂铜锌锡硫硒靶材及其制备方法。本发明首先将铜锌锡硫硒粉末和含Sb粉末球磨混合，得到原料混合物；然后对原料混合物进行烧结，得到锑掺杂铜锌锡硫硒靶材。本发明提供的制备方法操作简便，易于实施。采用本发明所述制备方法得到的锑掺杂铜锌锡硫硒靶材已经将锑元素和铜锌锡硫硒掺杂混合，直接采用溅射法来溅射得到锑掺杂铜锌锡硫硒吸收层薄膜即可，无需添加蒸发装置，操作简单。此外，所述靶材的晶粒尺寸较大，结晶质量良好，在应用于溅射制备吸收层薄膜时成分重复性好。 | ||
| 搜索关键词： | 铜锌锡硫硒 锑掺杂 靶材 制备 原料混合物 吸收层 溅射 薄膜 制备方法和应用 晶粒 掺杂混合 球磨混合 蒸发装置 烧结 溅射法 锑元素 应用 | ||
【主权项】：
1.一种锑掺杂铜锌锡硫硒靶材的制备方法，包含如下步骤：(1)将铜锌锡硫硒粉末和含Sb粉末混合后进行球磨，得到原料混合物；(2)对原料混合物进行烧结，得到锑掺杂铜锌锡硫硒靶材；所述含Sb粉末为单质Sb粉末和/或含Sb化合物粉末；所述含Sb化合物粉末为Sb2Se3粉末和Sb2O3粉末中的一种或几种；所述含Sb粉末中Sb元素占铜锌锡硫硒粉末和含Sb粉末的混合物中总原子数的(0at％,1at％]；所述原料混合物的粒径≤50μm。
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