[发明专利]一种化学机械抛光垫的制造方法及其产品和模具在审
| 申请号： | 201810261670.7 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108453970A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 相红旗 | 申请（专利权）人： | 成都时代立夫科技有限公司 |
| 主分类号： | B29C39/10 | 分类号： | B29C39/10;B29C39/22;B29C39/26;B24D18/00;B24B37/26 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 610207 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种化学机械抛光垫的制造方法，和其制造的带有终点检测窗口的化学机械抛光垫，及配合使用的单片或多片组合式浇注模具。本工艺中，将成型好且为固体的终点检测窗口利用一次性一体化浇注成型工艺包埋嵌合于化学机械抛光垫抛光层中，从而直接制得牢固粘结有窗口的抛光层抛光层。利用单片或多片组合式浇注模具，对每片带窗口的抛光层的浇注工艺参数控制精确，所得产品抛光垫本体具有优异的密度分布、空穴率和空穴大小的均匀性，进而取得了抛光垫整体的工艺和质量稳定性。所得产品的窗口与抛光层本体的接触面在物理和化学的双重作用下进行粘合，粘合效果极佳，消除了使用过程中接触面裂缝而致的渗漏现象。因此，具有显著的实际推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光层 化学机械抛光垫 多片组合式 浇注模具 终点检测 单片 制造 浇注工艺参数 空穴 一体化浇注 质量稳定性 成型工艺 牢固粘结 密度分布 双重作用 粘合效果 抛光 垫本体 均匀性 空穴率 抛光垫 一次性 粘合 包埋 片带 嵌合 模具 渗漏 成型 裂缝 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光垫的制造方法，其特征在于：所述制造方法为一次性一体化浇注成型工艺；所述一次性一体浇注成型工艺包括以下步骤：(1)按所需形状和尺寸将耐浇注温度、光学透明的且为固体的窗口材料经机加工得到终点检测窗口；(2)将所得终点检测窗口固定在抛光垫抛光层浇注模具型腔内的设计固定位置处；(3)合模后向模具型腔内浇注入抛光层浇注料，并在一定的固化温度条件下保持一段时间；(4)降温脱模得到镶嵌粘接固定有终点检测窗口的抛光垫抛光层；(5)所得抛光层与按抛光垫设计要求开有通孔的衬底层粘接贴合后得到带终点检测窗口的化学机械抛光垫。
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