[发明专利]一种化学机械抛光垫的制造方法及其产品和模具

权利要求书

1.一种化学机械抛光垫的制造方法，其特征在于：所述制造方法为一次性一体化浇注成型工艺；所述一次性一体浇注成型工艺包括以下步骤：

(1)按所需形状和尺寸将耐浇注温度、光学透明的且为固体的窗口材料经机加工得到终点检测窗口；

(2)将所得终点检测窗口固定在抛光垫抛光层浇注模具型腔内的设计固定位置处；

(3)合模后向模具型腔内浇注入抛光层浇注料，并在一定的固化温度条件下保持一段时间；

(4)降温脱模得到镶嵌粘接固定有终点检测窗口的抛光垫抛光层；

(5)所得抛光层与按抛光垫设计要求开有通孔的衬底层粘接贴合后得到带终点检测窗口的化学机械抛光垫。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光垫的制造方法，其特征在于，步骤(2)中将终点检测窗口固定在模具型腔内的方法为：以采用依靠窗口厚度与模具型腔厚度之间的设计差异在模具合模后型腔壁对窗口的压力进行固定。

3.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光垫的制造方法，其特征在于，步骤(2)中将终点检测窗口固定在模具型腔内的方法为：在型腔壁的设计固定位置处铣出与窗口的形状和大小相匹配、有一定深度的凹槽，然后将窗口置入凹槽中进行固定。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光垫的制造方法，其特征在于，步骤(2)中将终点检测窗口固定在模具型腔内的方法为：使用具有耐浇注温度的双面胶带将窗口材料的一侧或者双侧粘结固定模具型腔壁的设计固定位置处。

5.根据权利要求1～4任一项所述的一种化学机械抛光垫的制造方法，其特征在于，步骤(4)所得的抛光垫抛光层用于步骤(5)前，先经过表面加工并雕刻沟槽。

6.一种使用权利要求1～5任一项所述制造方法制造的化学机械抛光垫，包括带有终点检测窗口(3)的抛光层(1)和与抛光层一侧粘接贴合的衬底层(2)；其特征在于：所述抛光层(1)采用一次性一体化成型浇注工艺制成，且无需切片后处理；所述终点检测窗口(3)的材质为耐浇注温度、光学透明且为固体的材料；所述终点检测窗口包埋镶嵌于抛光层(1)中，并通过化学力和机械力共同作用实现粘接紧固。

7.根据权利要求6所述的化学机械抛光垫，其特征在于：所述抛光层(1)未与衬底层贴合的一面设有沟槽。

8.一种用于制造权利要求6或7所述抛光层的模具，包括中部设有型腔(5)、对角分别设有与型腔(5)连通的流道(6)和排气口(7)的模板(5)，其特征在于：所述模板(4)有n+1块，模板(4)与模板(4)间并排连接，并夹出n个闭合的型腔(5)，n为自然数；所述型腔(5)的尺寸与抛光垫抛光层的尺寸相同；所述型腔(5)壁上按抛光垫终点检测窗口的设计要求设有终点检测窗口固定位置。

9.根据权利要求8所述的模具，其特征在于：所述终点检测窗口固定位置为在型腔内壁设计位置处开设的终点检测窗口固定槽(8)。