[发明专利]一种各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法

摘要

本发明公开一种各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，属于陶瓷制备技术领域。具体包括以下步骤：溶胶工艺，凝胶工艺，干胶工艺，一次碎化工艺，一次煅烧工艺，掺银工艺，粉料静压工艺，二次煅烧工艺，二次碎化工艺，预模压制工艺，终模静压工艺，三次煅烧工艺；本发明所述方法能够通过液相混合及渗透烧结，提高Ag掺杂效果，大幅降低掺杂损耗，使得实际掺杂比例接近计算量，进而强化陶瓷靶的各向异性；结合非氧化烧结工艺，使得La1‑xCaxMnO3基体和Ag元素在未完成掺杂之前不被氧化，进而提高掺杂效果；结合冷等静压工艺，在渗透和压制过程中产生多向应力，可有利于靶材作择优生长的同时大幅消除缺陷组织，进而使得陶瓷靶具有强各向异性。

主权项

1.一种各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：（1）溶胶工艺：将硝酸镧、硝酸钙、硝酸锰和柠檬酸按(LaxCa1‑xMnO3)·Agy的化学计量配比进行称量，然后倒入混合容器中，采用甲醇作混合溶剂载体，乙二醇作分散剂，混合后得到过渡物Ⅰ；其中， X为0.66 ~ 0.75，y为0.1 ~ 0.3；（2）凝胶工艺：将步骤（1）所得过渡物Ⅰ置于75℃~90℃环境中烘蒸，得到过渡物Ⅱ；（3）干胶工艺：将步骤（2）所得过渡物Ⅱ置于110℃~130℃环境中脱水发泡，得到过过渡物Ⅲ；（4）一次碎化工艺：对步骤（3）所得过渡物Ⅲ作球磨碎化处理得到过渡物Ⅳ；（5）一次煅烧工艺：对步骤（4）所得过渡物Ⅳ作一次煅烧得到过渡物Ⅴ；（6）掺银工艺：将银浆均匀涂抹在球磨机的研磨小球上和球磨罐壁内侧，然后将步骤（5）所得过渡物Ⅴ倒入球磨罐开始球磨，得到过渡物Ⅵ；（7）粉料静压工艺：将步骤（6）所得过渡物Ⅵ进行冷等静压后得到过渡物Ⅶ；（8）二次煅烧工艺：将步骤（7）所得过渡物Ⅶ进行二次煅烧，得到过渡物Ⅷ；（9）二次碎化工艺：通过球磨机对步骤（8）所得过渡物Ⅷ进行球磨碎化得到过渡物Ⅸ；（10）预模压制工艺：将步骤（9）所得过渡物Ⅸ压制成预模靶；（11）终模静压工艺：步骤（10）所得预模靶进行冷等静压得到终模靶；（12）三次煅烧工艺：对步骤（11）所得终模靶进行富氧烧结，得到各向异性(LaxCa1‑xMnO3)·Agy陶瓷靶。