[发明专利]一种各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法

权利要求书

1.一种各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

（1）溶胶工艺：将硝酸镧、硝酸钙、硝酸锰和柠檬酸按(La_xCa_1-xMnO₃)·Ag_y的化学计量配比进行称量，然后倒入混合容器中，采用甲醇作混合溶剂载体，乙二醇作分散剂，混合后得到过渡物Ⅰ；其中， _X为0.66 ~ 0.75，y为0.1 ~ 0.3；

（2）凝胶工艺：将步骤（1）所得过渡物Ⅰ置于75℃~90℃环境中烘蒸，得到过渡物Ⅱ；

（3）干胶工艺：将步骤（2）所得过渡物Ⅱ置于110℃~130℃环境中脱水发泡，得到过渡物Ⅲ；

（4）一次碎化工艺：对步骤（3）所得过渡物Ⅲ作球磨碎化处理得到过渡物Ⅳ；

（5）一次煅烧工艺：对步骤（4）所得过渡物Ⅳ作一次煅烧得到过渡物Ⅴ；

（6）掺银工艺：将银浆均匀涂抹在球磨机的研磨小球上和球磨罐壁内侧，然后将步骤（5）所得过渡物Ⅴ倒入球磨罐开始球磨，得到过渡物Ⅵ；

（7）粉料静压工艺：将步骤（6）所得过渡物Ⅵ进行冷等静压后得到过渡物Ⅶ；

（8）二次煅烧工艺：将步骤（7）所得过渡物Ⅶ进行二次煅烧，得到过渡物Ⅷ；

（9）二次碎化工艺：通过球磨机对步骤（8）所得过渡物Ⅷ进行球磨碎化得到过渡物Ⅸ；

（10）预模压制工艺：将步骤（9）所得过渡物Ⅸ压制成预模靶；

（11）终模静压工艺：步骤（10）所得预模靶进行冷等静压得到终模靶；

（12）三次煅烧工艺：对步骤（11）所得终模靶进行富氧烧结，得到各向异性(La_xCa_1-xMnO₃)·Ag_y陶瓷靶。

2.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（4）中球磨碎化处理得到的过渡物Ⅳ粒径尺寸小于0.1mm。

3.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（5）所述一次煅烧的条件为：真空度小于500Pa，烧结温度为480℃~ 500℃，烧结时间为6h ~8h。

4.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（6）中银浆的使用量为真实计算量的105%~107%，银浆粘度为1.5CPS~2.5 CPS；球磨条件为：球磨转速为300r/min ~ 600 r/min，球磨时长为6 ~ 8h。

5.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（7）中冷等静压的具体过程为：将所得过渡物Ⅵ倾倒在保鲜膜上，通过超声板对过渡物Ⅵ作震荡平铺，后折叠包裹再依次用保鲜膜和薄橡胶袋作封装，对封装薄橡胶袋抽真空，将呈真空态薄橡胶袋浸没入冷等静压机油槽内进行静压；静压过程为阶梯式保压操作，压力值为170MPa ~ 210MPa，受压总时间为40min ~ 180 min。

6.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（8）中所述二次煅烧的条件为：真空度小于500Pa，烧结温度为400℃~ 450℃，烧结时长为12h ~15h。

7.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（9）中所得过渡物Ⅸ粒径尺寸小于0.5mm。

8.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（10）中所述压制过程的压力为8MPa ~ 13MPa，受压总时长为10min ~ 20 min。