[发明专利]形成多层结构的方法在审
| 申请号： | 201810244940.3 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108666150A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王德岩 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | H01G11/32 | 分类号： | H01G11/32;H01G11/86 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 包括液体载体和某些MX/石墨碳前体的组合物可用于形成多层结构，所述多层结构具有设置在衬底上的MX层和石墨碳层，其中，在多层结构中MX层介于衬底与石墨碳层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 多层结构 石墨碳层 衬底 液体载体 石墨碳 可用 前体 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，其包括：液体载体；和一种或多种式(1)的MX/石墨碳前体，![]()
其中，每个M选自由Ti、Hf以及Zr组成的群组；每个X独立地选自由N(R)、S、Se以及O组成的群组；每个R选自由H和‑C1‑10烃基组成的群组；每个R1为‑C2‑6亚烷基‑X‑基团；z为0至5；n为1至15；每个R2独立地选自由以下组成的群组：氢、‑C1‑20有机残基、‑C(O)‑C1‑20烃基以及‑(Y1)a‑(L1)b‑(Y2)c‑(L2)d‑C10‑60多环芳族部分；每个Y1和Y2独立地选自由‑C(O)‑和‑S(O)2‑组成的群组；每个L1和L2独立地为C1‑10烃基；a＝0或1；b＝0或1；c＝0或1；并且d＝0或1；条件是当c＝0时d＝0；其中，当Y1＝‑C(O)‑时或者当a＝c＝0时，b和d中的至少一个等于1；并且其中，所述MX/石墨碳前体材料中至少10mol％的所述R2基团为‑(Y1)a‑(L1)b‑(Y2)c‑(L2)d‑C10‑60多环芳族部分。
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