[发明专利]外延鳍状结构的制作方法

摘要

本发明公开一种外延鳍状结构的制作方法，其包括下列步骤。提供基底，并于基底中形成凹槽。在基底上形成外延层。外延层部分形成于凹槽内且部分形成于凹槽之外。外延层具有一凹陷形成于外延层的上表面上，且凹陷于基底的厚度方向上对应凹槽。在外延层上共形地形成氮化物层，并于氮化物层上形成氧化物层。进行第一平坦化制作工艺，用以移除部分的氧化物层。第一平坦化制作工艺停止在氮化物层上。对位于凹槽内的外延层进行图案化，用以形成至少一外延鳍状结构。

主权项

1.一种外延鳍状结构的制作方法，其特征在于，包括：提供一基底；在该基底中形成一凹槽；在该基底上形成一外延层，其中该外延层部分形成于该凹槽内且部分形成于该凹槽之外，该外延层具有一凹陷形成于该外延层的上表面上，且该凹陷于该基底的厚度方向上对应该凹槽；在该外延层上共形地形成一氮化物层；在该氮化物层上形成一氧化物层；进行一第一平坦化制作工艺，用以移除部分的该氧化物层，其中该第一平坦化制作工艺停止在该氮化物层上；以及对位于该凹槽内的该外延层进行图案化，用以形成至少一外延鳍状结构。