[发明专利]抽检式太阳能电池片电注抗光衰工艺在审
| 申请号： | 201810226481.6 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN108417668A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张海生;李华超 | 申请（专利权）人： | 苏州巨能图像检测技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明抽检式太阳能电池片电注抗光衰工艺，包括如下步骤：1）硅片于烧结炉中烧结后，直接放置于输送轨道上，输送轨道为与电注抗光衰主机一体式连接；2）输送轨道输送硅片进入电注抗光衰主机进行电注抗光衰处理，电注抗光衰主机上设置有若干检测工位；3）电注抗光衰处理过程中，通过抽样检测指令下达，检测工位处排除其相应位置处的样品，此时电注抗光衰主机间接性停止作业，等待样品检测结果；41）样品检测结果为合格时，电注抗光衰主机继续作业；42）样品检测结果为不合格时，进行工艺调整或设备维修。 | ||
| 搜索关键词： | 电注 光衰 主机 样品检测结果 输送轨道 太阳能电池片 硅片 一体式连接 抽样检测 工艺调整 设备维修 直接放置 指令下达 烧结 工位处 间接性 烧结炉 位置处 检测 工位 | ||
【主权项】：
1.一种抽检式太阳能电池片电注抗光衰工艺，其特征在于：包括如下步骤：1)硅片于烧结炉中烧结后，直接放置于输送轨道上，输送轨道为与电注抗光衰主机一体式连接；2)输送轨道输送硅片进入电注抗光衰主机进行电注抗光衰处理，电注抗光衰主机上设置有若干检测工位；3)电注抗光衰处理过程中，通过抽样检测指令下达，检测工位处排除其相应位置处的样品，此时电注抗光衰主机间接性停止作业，等待样品检测结果；41)样品检测结果为合格时，电注抗光衰主机继续作业；42)样品检测结果为不合格时，进行工艺调整或设备维修。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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