[发明专利]一种电池电极用金属化类石墨膜层的制备方法

摘要

一种电池电极用金属化类石墨膜层的制备方法，金属化类石墨膜层的各组成成分的百分比为：Ti 3.5~8.0%，N 2.0~3.0%，杂质含量≤0.05%，余量为C。本发明采用石墨、Ti靶材共溅射制备出金属化类石墨膜层，碳原子主要以sp2杂化轨道成键，能够克服了类金刚石电阻率大的缺点，减少了碳原子以sp3杂化轨道成键的方式。金属化类石墨膜层的方阻在100mΩ/□~3Ω/□，满足了工业化的生产需求。

主权项

1.一种电池电极用金属化类石墨膜层，其特征在于：金属化类石墨膜层的各组成成分的百分比为：Ti 3.5~8.0%，N 2.0~3.0%，杂质含量≤0.05%，余量为C。